用途概述：
HMDS真空干燥箱用于半導(dǎo)體晶圓在進(jìn)行HMDS預(yù)處理工藝中的干燥，通過(guò)程序設(shè)定，使抽真空-通氮?dú)?抽真空-等實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制，自動(dòng)實(shí)現(xiàn)HMDS預(yù)處理工藝過(guò)程，用于光刻過(guò)程的涂膠工藝；
高真空干燥箱可在潔凈環(huán)境下使用，滿足潔凈環(huán)境下的高真空，無(wú)塵生產(chǎn)工藝，半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)工藝車(chē)間使用，用于半導(dǎo)體、電子、醫(yī)療衛(wèi)生、儀器儀表等領(lǐng)域的無(wú)氧化干燥工藝；
產(chǎn)品特點(diǎn)
● 采用智能觸摸屏控制，溫度、真空度、時(shí)間等直接設(shè)定，菜單式操作，操作維護(hù)方便；
● 工作室采用316不銹鋼，更好耐酸堿腐蝕，確保產(chǎn)品經(jīng)久耐用，便于清潔；
● 長(zhǎng)方形真空室，使有效容積大，能充分利用空間；
● 彈性雙層鋼化玻璃門(mén)觀察工作室內(nèi)物體，一目了然；
● 箱門(mén)閉合松緊可調(diào)節(jié)，整體成型的合成硅橡膠門(mén)封圈，確保箱內(nèi)高真空度；
● 增設(shè)超溫保護(hù)溫控口，有效的防止溫度失控等安全問(wèn)題；（選配）
● 低噪聲專(zhuān)業(yè)真空泵，真空控制穩(wěn)定可靠；（HMDS真空干燥箱）
● 采用內(nèi)膽加熱，箱體內(nèi)無(wú)任何電子元器件，無(wú)污染，不易被腐蝕，使用更加安全；
● 采用超高真空泵，能夠保證箱體內(nèi)真空度達(dá)1.0×10-4Pa；(高真空干燥箱)
程序控制
● 程序控制操作，可根據(jù)工藝需求設(shè)定加熱、真空度設(shè)定、通氮、時(shí)間等參數(shù)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)程序控制，確保每批次烘烤一致性，降低產(chǎn)品的烘烤差異性；
● 具有485通訊接口，可以通過(guò)外置軟件程序?qū)嵤┎榭丛O(shè)備運(yùn)行狀況和程序運(yùn)行狀況，保證設(shè)備一直運(yùn)行在監(jiān)控當(dāng)中；
技術(shù)參數(shù)
| 技術(shù)指標(biāo)\型號(hào) |
HMDS真空干燥 |
高真空干燥箱 |
||
|
BPZ-6060MS |
BPZ-6090MS |
BPZ-6060HV |
BPZ-6090HV |
|
| 電源電壓 |
AC220V 50HZ |
AC220V 50HZ |
||
|
輸入功率 |
3000W |
3500W |
3000W |
3500W |
| 控溫范圍 |
RT+10~250℃ |
RT+10~200℃ |
||
|
溫度分辨率/波動(dòng)度 |
0.1℃ /±1℃ |
0.1℃ /±1℃ |
||
|
達(dá)到真空度 |
100Pa |
1.0×10-4Pa極限真空度 |
||
|
真空度顯示 |
電子式真空度顯示 |
電子式真空度顯示 |
||
|
工作環(huán)境溫度 |
＋5～40℃ |
＋5～40℃ |
||
|
內(nèi)膽尺寸(mm)W×D×H |
400×400×400 |
450×450×450 |
400×400×400 |
450×450×450 |
|
外形尺寸(mm)W×D×H |
600×570×1390 |
610×590×1350 |
600×570×1390 |
610×590×1350 |
| 擱板 | 2塊 | 2塊 | ||
| 加熱方式 | 內(nèi)膽加熱 | 內(nèi)膽加熱 | ||
|
工作室材料 |
316不銹鋼 |
316不銹鋼 |
||
※性能參數(shù)測(cè)試在空載條件下為：環(huán)境溫度20℃，環(huán)境濕度50%RH
注：外殼可定制為304不銹鋼材質(zhì)
